Urządzenie do litografii wiązką elektronową

Ogólna charakterystyka

Urządzenie do litografii wiązką elektronową JBX9300 firmy Jeol pozwala na bezpośrednie rysowanie wzorów na warstwie rezystu.

Specyfikacja techniczna

  • Urządzenie pozwala na pracę z pojedynczymi płytkami podłożowymi od kawałków do całych podłoży o średnicach 100 mm, 150 mm i 200 mm
  • Stosowane napięcia przyśpieszające to 50 kV i 100 kV
  • Minimalna wartość średnicy stosowanej do naświetlania wiązki elektronów < 5 nm, a minimalna szerokość uzyskanej linii – poniżej 20 nm
  • Maksymalny obszar naświetlania bez konieczności stosowania zszywania (ang. stitching) to 1 mm2.

Zastosowanie

  • Odwzorowywanie kształtów na podłożu w skali nano
  • Prototypowanie/testowanie wzorów – duża elastyczność, przydatna zwłaszcza w fazie badań i prototypowania struktur i elementów
  • Wytwarzanie masek do fotolitografii

odwiedź nas w mediach społecznościowych

konsorcjanci CEZAMATU

nasi partnerzy