Zespół Technologii Struktur Optycznych zajmuje się projektowaniem, modelowaniem i wytwarzaniem precyzyjnych elementów optycznych za pomocą procesów typowych dla półprzewodnikowej linii technologicznej. Technologia oparta jest o fotolitografię, elektronolitografię, nanoszenie warstw oraz trawienie jonowe. Opracowana jest także technologia wytwarzania struktur fazowych w procesie elektronolitografii typu grayscale, który umożliwia naświetlanie struktur o zmiennej wysokości w ramach pojedynczego procesu. Struktury mogą być wykonywane na płaskich podłożach, zarówno zwierciadlanych, jak i przezroczystych, oraz na membranach o grubości rzędu 100 nm.
W dorobku zespołu znajdują się m.in. soczewki Fresnela i kinoformy o grubości od 0,5 do 3 µm i średnicy rzędu milimetrów, hologramy odbiciowe i transmisyjne o submikronowym wymiarze piksela, metastruktury, siatki dyfrakcyjne oraz matryce mikrosoczewek. Opracowano także metodę wykonywania transmisyjnych rentgenowskich struktur dyfrakcyjnych umieszczonych na membranie z azotku krzemu, z wymiarami poniżej 50 nm.
Wykonane elementy optyczne znajdują zastosowanie w systemach sprzęgania wiązki z fotonicznymi układami scalonymi, mikroskopach pracujących w zakresie dalekiego nadfioletu i innych precyzyjnych układach optycznych.
