Pomiary topografii powierzchni materiałów – profilometria stykowa

Dysponujemy urządzeniem Bruker DektakXT z trzyosiowym pozycjonowaniem i możliwością badania również miękkich materiałów. Wykonywane są profile pojedynczych linii pomiarowych, zautomatyzowane sekwencje, jak i wizualizacje 3D topografii powierzchni. Wykonujemy pomiary topografii powierzchni metodą kontaktową w celu zmierzenia grubości powłoki, chropowatości, naprężeń oraz defektów technologią profilometrii stykowej.

Zakres funkcjonalności:

• sterowany numerycznie stolik X/Y, zapewniający przesuw na długości 200/200 mm ze zmotoryzowaną rotacją w zakresie 0-360⁰,
• maksymalna długość pojedynczego skanu: 55 mm. Możliwość zwiększenia długości skanowania do 200 mm dzięki funkcji zszywania profili (stiching),
• maksymalna wysokość (grubość) próbki na stole pomiarowym: 50 mm,
• stolik podciśnieniowy o średnicy 200 mm dostosowany do pomiaru wafli krzemowych,
• mikroporowaty podciśnieniowy stolik o wymiarach 150 mm x 150 mm,
• profilometr umieszczony jest na pneumatycznym stole antywibracyjnym w celu redukcji szumów pomiarowych.

Parametry głowicy pomiarowej:

• siła nacisku sondy od 10-147 µN z możliwością redukcji aż do 0,3 µN dla szczególnie delikatnych próbek lub materiałów miękkich,
• pionowy zakres pomiarowy (wysokość stopnia): 1 mm,
• rozdzielczość mierzonej wysokości od 15 nm w zakresie 0-1 mm do 0,1 nm w zakresie 0-6,5 µm,
• igła pomiarowa o promieniu zaokrąglenia 2 μm,
• igła pomiarowa o promieniu zaokrąglenia 12,5μm,
• układ optyczny umożliwiający podgląd igły skanującej podczas pomiaru oraz obserwację powierzchni próbki.

Obróbka danych i analiza:

• wyliczanie parametrów chropowatości i topologii: Ra, Rq, Wa, ASH i wiele innych
• możliwość filtrowania artefaktów makrogeometrycznych: nachylenia, falistości, okrągłości
• funkcja automatycznej detekcji stopnia,
• możliwość automatyzacji sekwencji pomiarowej na podstawie markerów próbki,
• możliwość wykonania map 3D topografii powierzchni z rozdzielczością stitchingu poprzecznego do 1 µm.

Słowa kluczowe: topografia powierzchni, Badania materiałowe, struktura powierzchni, chropowatość, grubość warstwy

kontakt: uslugi.cezamat@pw.edu.pl